金屬中心成功開發臺灣首台單腔雙製程PECVDPEALD整合設備，針對穿隧氧化層與背鈍化層進行高均勻性沉積，已完成效率與良率驗證，有效改善傳統製程限制，具量產應用潛力。

聚焦高階加工、精密製造、數位醫療 金屬中心助攻產業升級

SNN編輯室整理 2025/10/14 14:24

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